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          1. 400-677-0098
            關鍵詞:化學氣相沉積爐CVD系統CVI沉積爐
            臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
            臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
            產品描述:
            臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)主要用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理
            應用范圍:
            炭/炭剎車盤、炭炭板材、晶體爐坩堝、熱壓模具、高溫發熱體/緊固件、熱場材料等

            臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征

            電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

            采用智能壓力調控,壓力波動??;

            全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

            多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

            多級高效尾氣處理系統,環境友好,能高效收集焦油及副產物,易清理;

            可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;

            臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格

            參數\型號HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
            工作區尺寸
            W×H×L(mm)
            600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
            最高溫度(℃)150015001500150015001500
            溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10±10
            極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
            壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
            加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻
            以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

            臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

            結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

            爐門鎖緊方式:手動/自動

            爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

            保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

            加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬

            熱電偶:K/N/C/S分度號

            電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

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            碳基復合材料熱工裝備
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